Редакторы: Л Майссел Р Глэнг Переводчики: М Елинсон Г Смолко Справочник по технологии тонких пленок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых вещебщшвбств, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др Справочник издается в двух томах В т 1 включены гл 1-7, в т 2-гл 8-21 В т 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, взшанметоды ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов Книга является универсальным справочным пособием для широврзбэкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.